深紫外單縱模固體激光器Ixion-193-SLM
- IXION-193-SLM
- IXION-193-SLM-50
- IXION-193-SLM-LC
Ixion-193-SLM為全固化單頻激光器，其線寬達(dá)到變換極限，可用于光學(xué)計(jì)量、193nm 步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)校準(zhǔn)、高功率準(zhǔn)分子激光器種子等。
Ixion-193-SLM激光器共同的特點(diǎn)：
- 使用超級(jí)簡(jiǎn)便：用戶只需在圖形化的軟件界面上即可完成操作
- 可適應(yīng)7天24小時(shí)工業(yè)化應(yīng)用
- 窄線寬，長(zhǎng)相干長(zhǎng)度
- 標(biāo)準(zhǔn)輸出193.368nm，下單前可提前定制190-195nm范圍間任意波長(zhǎng)值。
- 波長(zhǎng)在10pm(80GHz)范圍內(nèi)可調(diào)諧
- 可增配內(nèi)置波長(zhǎng)計(jì)監(jiān)測(cè)波長(zhǎng)調(diào)諧的絕對(duì)值
產(chǎn)品規(guī)格|
型號(hào) |
IXION-193-SLM |
IXION-193-SLM-50 |
IXION-193-SLM-LC |
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分類(lèi) |
標(biāo)準(zhǔn)款 |
更高功率款 |
更窄線寬款 |
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平均功率 |
10 mW |
50 mW |
3 mW |
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脈沖寬度 |
8-10 ns |
6-8 ns |
12-14 ns |
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脈沖能量 |
1.6μJ |
8.3μJ |
0.5μJ |
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重復(fù)頻率 |
6 kHz |
6 kHz |
6 kHz |
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M² |
<1.4 |
<1.4 |
<1.4 |
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光譜線寬 |
<80 MHz |
<100 MHz |
<60 MHz |
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相干長(zhǎng)度 |
>2m |
>1.5m |
>2.5m |
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波長(zhǎng)可調(diào)諧范圍 |
>80 GHz ⇔10 pm
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>80 GHz ⇔10 pm
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>80 GHz ⇔10 pm
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應(yīng)用舉例：
光譜儀校準(zhǔn)：Ixion-193-SLM標(biāo)準(zhǔn)款就已經(jīng)很適合做193nm深紫外頻段高分辨率光譜儀校準(zhǔn)，下圖為校準(zhǔn)德國(guó)LTB高分辨率中階梯光柵光譜儀的實(shí)測(cè)圖
Ixion-193-SLM-50的輸出功率可達(dá)50mW, 可用于科研級(jí)別小尺度深紫外光刻;其光譜線寬<100MHz, 可有效降低深紫外光刻系統(tǒng)的色差導(dǎo)致的位置偏差，特別適合于浸沒(méi)型高分辨率光刻，以及多次曝光套刻。
準(zhǔn)分子激光器的種子注入：用于產(chǎn)業(yè)級(jí)別高精細(xì)度半導(dǎo)體光刻制程時(shí)， Ixion-193-SLM可用于大功率準(zhǔn)分子激光器的種子注入源，將自身的超窄線寬和超高功率穩(wěn)定性傳遞給大功率準(zhǔn)分子激光器，提升半導(dǎo)體光刻制程分辨率與良品率。
深紫外干涉與計(jì)量：Ixion-193-SLM以其1.5-2.5m的長(zhǎng)相干長(zhǎng)度，很適合搭建193nm干涉系統(tǒng)和全息系統(tǒng)；193nm深紫外激光架構(gòu)比266nm激光架構(gòu)用于無(wú)圖型半導(dǎo)體晶圓缺陷檢測(cè)儀能做到更細(xì)微的缺陷監(jiān)測(cè)極限；用于膜厚檢測(cè)也可做到更精細(xì)的膜厚檢測(cè)極限；可用于掩膜對(duì)準(zhǔn)步進(jìn)光學(xué)系統(tǒng)的校準(zhǔn)。總之，Ixion-193-SLM可做為超精細(xì)半導(dǎo)體制程光刻系統(tǒng)或器件的研究與優(yōu)化應(yīng)用的光源。
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